近日，tdk株式会社宣布推出两款新的铜内电极压电执行器——com30s5和com45s5，其采用符合rohs要求的锆钛酸铅 (pzt) 材料制成。
据介绍，新款元件采用tdk基于铜电极的has技术，以无外壳封装的被动元件供货，实现了良好的动态范围、高力量/体积比和纳米级精度。比之其他技术，采用has技术的压电执行器性能更佳，湿度稳定性更好、使用寿命更长。
图源:tdk
两款新元件覆盖电压范围为-10至 180 v，额定位移在 160 v处达到，允许的表面温度范围为-40至 160°c，高度分别为30 mm和45 mm，横截面尺寸为5.2 mm x 5.2 mm，并且在160 v和730 n的预紧力条件下可实现55 ?m 和 83 ?m (com45s5) 的位移。
tdk透露，公司计划于2023年再推出另外三款执行器，以满足更广泛的应用要求。目前，这些执行器仅作为少量原型样品供应，尚未量产，具体包括高度为10 mm、位移量为16 ?m的com10s5；高度为27 mm、位移量为 47 ?m的 com27s3；以及高度为30 mm、横截面为7 mm x 7 mm、位移量为55 ?m、推力高达2600 n的com30s7。
此外，tdk也强调，公司压电执行器应用范围广，适合包括纳米级定位技术、工艺工程中液体和气体的高精度阀门控制，以及半导体制造等高端pg麻将胡了模拟器的解决方案在内的诸多应用。
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